Schwefelsäure
Molare Masse (M) 98,08 g/mol
Dichte (D) 1,84 g/cm³
Siedepunkt (Sdp) 315 °C
Schmelzpunkt (F) -15 °C
ADR 8 II
WGK 1
CAS Nr. 7664-93-9
EG-Nr. 231-639-5
UN-Nr. 1830
94,50 €/VE
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Allgemeine Informationen
Mit der VLSI (Very Large Scale Integration) Produktlinie bietet Carl ROTH Lösungsmittel und Säuren zur Reinigung und zum Ätzen von Wafern für die Halbleiter-Industrie. Beide Vorgänge sind essentiell bei der Chipherstellung. Bei Carl ROTH finden Sie dazu ausgewählte Produkte.
Eigenschaften:
- Hohe Reinheit
- Spurenmetallgehalt meist unter 100 ppb
- Partikelfiltriert, maximal 250 Partikel/ml
Für die Halbleiterindustrie bzw. Forschung und Entwicklung auf diesem Gebiet, gibt es unterschiedliche Reinheitsgrade:
VLSI
very large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 50-100 ppb, Partikelkonzentration <250/ml
ULSI
ultra large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 10-50 ppb, Partikelkonzentration <100/ml
SLSI
super large scale integration
Metallionenkonzentration je Fremdelement ca. 1-10 ppb, Partikelkonzentration <30-100/ml
Analysenzertifikate
Garantieanalyse
Gehalt | 95-97 % |
Partikelmenge (≥0,5 µm) | ≤250 p/ml |
Farbe (APHA) | ≤10 |
Ammonium (NH4) | ≤0,0002 % |
Chlorid (Cl) | ≤0,00001 % |
Nitrat (NO3) | ≤0,00002 % |
Phosphat (PO4) | ≤0,00005 % |
KMnO4 reduzierende Anteile | ≤0,0001 % |
Glührückstand (als SO4) | ≤0,0003 % |
Aluminium (Al) | ≤50 ppb |
Antimon (Sb) | ≤10 ppb |
Arsen (As) | ≤10 ppb |
Barium (Ba) | ≤10 ppb |
Beryllium (Be) | ≤10 ppb |
Bismut (Bi) | ≤20 ppb |
Blei (Pb) | ≤10 ppb |
Bor (B) | ≤20 ppb |
Cadmium (Cd) | ≤10 ppb |
Calcium (Ca) | ≤50 ppb |
Chrom (Cr) | ≤10 ppb |
Eisen (Fe) | ≤50 ppb |
Gallium (Ga) | ≤10 ppb |
Gold (Au) | ≤10 ppb |
Kalium (K) | ≤50 ppb |
Cobalt (Co) | ≤10 ppb |
Kupfer (Cu) | ≤10 ppb |
Lithium (Li) | ≤10 ppb |
Magnesium (Mg) | ≤20 ppb |
Mangan (Mn) | ≤10 ppb |
Molybdän (Mo) | ≤10 ppb |
Natrium (Na) | ≤50 ppb |
Nickel (Ni) | ≤10 ppb |
Silber (Ag) | ≤10 ppb |
Strontium (Sr) | ≤20 ppb |
Titan (Ti) | ≤20 ppb |
Vanadium (V) | ≤10 ppb |
Zink (Zn) | ≤20 ppb |
Zinn (Sn) | ≤20 ppb |
Zirkonium (Zr) | ≤10 ppb |